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科技日報記者 付毅飛
記者6月29日從中國電子科技集團獲悉，該集團旗下中電科電子裝備集團有限公司（以下簡稱“電科裝備”）已實現(xiàn)離子注入裝備28納米工藝制程全覆蓋，有力保障我國集成電路制造行業(yè)在成熟制程領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)安全。
研發(fā)人員正在調(diào)試離子注入機。中國電科供圖
據(jù)悉，離子注入機是芯片制造中的關(guān)鍵裝備，28納米則是當(dāng)前芯片應(yīng)用領(lǐng)域中覆蓋面最廣的成熟制程。
電科裝備連續(xù)突破光路、控制、軟件等關(guān)鍵模塊的核心技術(shù)，形成中束流、大束流、高能及第三代半導(dǎo)體等全系列離子注入機產(chǎn)品格局，實現(xiàn)了28納米工藝制程全覆蓋，切實保障中國“芯”的生產(chǎn)制造。
據(jù)了解，作為國內(nèi)最早從事離子注入設(shè)備研制及產(chǎn)業(yè)化的企業(yè)，電科裝備已具備從產(chǎn)品設(shè)計到量產(chǎn)應(yīng)用的完整研制體系，產(chǎn)品涵蓋邏輯、存儲、功率器件、傳感器等工藝器件，百臺設(shè)備廣泛應(yīng)用于國內(nèi)各大集成電路先進產(chǎn)線，累計流片量超2000萬片，有力提升我國產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈韌性和安全水平。
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